氧化铝陶瓷真空搬运陶瓷手臂及相关技术特性如下:
一、核心特性
1、高纯度与绝缘性:氧化铝陶瓷手臂纯度达99.5%以上,具备优异的绝缘性能(电阻率>10¹⁴ Ω·cm),可有效避免静电干扰,适用于半导体晶圆等敏感电子元件的搬运。
2、耐高温与耐腐蚀:材料可在1600℃高温下稳定工作,抗化学腐蚀性强,适用于真空、高温及腐蚀性气体环境。
3、精密加工技术:采用CNC数控加工工艺,实现微米级精度(如0.1微米表面粗糙度),满足晶圆搬运对零气孔、零裂纹的严苛要求。
4、无污染设计:非金属特性避免金属离子释放,结合特氟龙防静电涂层可选方案,进一步降低静电与颗粒污染风险。
二、应用场景
1、半导体制造:用于晶圆搬运的真空陶瓷手臂,需满足洁净度、真空度及尺寸稳定性要求。
2、电子元件处理:在高温、腐蚀性环境下精准定位敏感部件,避免静电损伤。
3、工业自动化:定制化机械臂适配精密搬运需求,如氧化铝陶瓷叉臂、末端执行器等。
三、技术优势
1、材料性能:莫氏硬度达9级,耐磨性优于金属;热膨胀系数低(8-9×10⁻⁶/℃),抗热震性强。
2、结构设计:中空结构通过粘结技术实现,兼顾轻量化与机械强度。
3、定制化能力:支持来图来样加工,适配不同尺寸与功能需求。
支持非标定做。