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制造集成电路、平面显示器以及光电器件过程中，由于半导体材料需要进行高温处理和多次的膜层沉积，所以在这个过程中需要使用真空泵来维持相应的实验室条件。而在真空泵中使用高性能热等静压氮化硅陶瓷球以及特殊加工更高精度的滚道使得轴承在高温、高速、低振动、高污染、润滑不足、高可靠性及长寿命方面有着惊人的表现。氮化硅真空泵轴承在DmN<50万的情况下可以连续运转30000小时以上。
